关于溅射靶材和蒸发材料的正确程序处理，这里仅需提及几件事。大多数沉积材料相当坚固，但根据特定的组成或化学计量，某些材料可能会非常脆弱，某些材料可能会很脆，而某些材料可能会非常有毒。首先，强烈建议所有与处理任何特定材料有关的人员首先阅读，然后按照与任何给定成分相关的“材料安全数据表”或“表”中列出的安全程序进行操作。

将大多数产品包装在真空密封的聚丙烯包装盒中。这防止了水分和/或空气可能污染产品或与产品发生反应。从该保护性外层打开产品后，应使用某种形式的防护手套（乳胶，棉布，无绒等）来处理该材料，以防止该材料与手部的水分反应并保护操作人员身体上的伤害或反应。如果使用的材料有毒，如有必要，戴上呼吸面罩或面罩。

如果材料是与空气（氧气，氮气，氢气，水蒸气等）接触时容易分解或分解的东西，请确保从到达目标到准备就绪为止，将目标存储在真空干燥器或受控的环境中。装入室内使用。当与环境发生反应时，由于膨胀/收缩作用，许多陶瓷或粉末冶金产品材料会简单地粉碎成离解的粉末或裂纹。

在沉积过程中使用后，出于操作安全的考虑，也应格外小心地处理这种高反应性产品，并防止对靶材本身造成任何可能的损坏。根据所用材料的具体成分，建议在沉积过程后用惰性气体回填腔室，该惰性气体将保护靶材的表面并在沉积腔室的各个表面上提供保护层。其他相关的反应性表面。同样，在通过防护服（手套，口罩，呼吸系统等）打开腔室后，应小心保护操作人员和目标材料，并立即将用过的目标物放回非反应性环境中，直到再次需要供将来使用。