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PVD镀膜要怎么控制氩气流量

时间：2020-08-31 点击数：

PVD镀膜要怎么控制氩气流量?

通常有两种控制方法:

第一是气体流量计。

第二是通过控制PVD工艺中，炉腔内的气压，来控制氩气流量。

本文网址：http://www.ztpvd.com/news/456.html

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