扩散泵是一种高真空获得设备,限制在5级泵,泵送速度、效率高、可以忙碌的提取,常用的真空电镀,高抽速大设备,真空镀膜机的一个重要组成部分是采用扩散泵抽真空,大部分都是大型设备，所以相对来说成本会更高，因此，大多数企业都非常重视真空镀膜机扩散泵的维护和保养。下面收集真空小编为大家详细介绍一下扩散泵的保养和保养方法:

真空镀膜机

第 一:扩散泵的冷却水在工作过程中一定要平稳，停止加热后，待泵工作液完全冷却后再关闭冷却水。

第二:扩散泵停止工作时，应保持泵处于真空状态，以免泵油变质。

第三:被泵送的气体应是干燥、无腐蚀性、无粉尘的气体。

第四:如果扩散泵暂时不使用，储存时应保持真空状态，以免泵油污染和腐蚀各部件，并将冷却水套的剩余水吹干净。将室温保持在10至40摄氏度之间。

第五:扩散泵性能在长期工作后会逐渐恶化，应定期检查。如:泵油是否被还原或氧化，按相应要求进行加油或更换处理;零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丙酮擦洗，在80-100摄氏度下烘干或用吹风机吹干。加工后，依次组装，保持泵芯与泵底垂直，泵腔同心，各级喷嘴间隙应按原要求调整。

第六:待水挥发干燥后，安装泵芯，添加新的扩散泵油，并安装回机体，连接水管，安装炉板，即可重新启动。

第七:在重新开启真空镀膜机之前，要注意检漏。方法是:启动维修泵，关好门，几分钟后，观察真空度，并检查连接处密封胶圈是否泄漏，或密封圈是否断裂。隐藏的漏气可以在消除前加热，否则扩散泵油烧坏无法进入工作状态。