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真空镀膜机有很多种。一些制造公司按应用领域分类,一些按涂层技术分类。然而,如果按应用领域分类,则加以区分,因为真空镀膜机的应用领域非常广泛。如果按字段划分,则更准确,更易于区分。因此,在购买真空镀膜机时,必须告知制造商需要电镀的工件、需要电镀的膜层和特殊要求,以便制造商推荐与应用领域相对应的真空镀膜机。下面是小编为您准备的购买真空镀膜机的一些要点,希望能对您有所帮助:
1.炉体可采用不锈钢、碳钢或其组合材料。
2.根据工艺要求选择不同规格型号的涂装设备,包括电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。
3.夹具操作有旋转、旋转和旋转+旋转模式。用户可以根据基板的大小和形状提出相应的要求。速度范围和精度:普通可调变频调速。
4.真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、膨胀泵、罗茨泵、坩埚轮分子泵及配套的气动、手动和电动阀门及管道组成。
5.根据工艺要求选择电镀方法和形式,如电阻蒸发(钨丝、钼舟、石墨舟)、磁控管源(同轴圆柱形磁控管源、圆柱形平面磁控管源、矩形平面磁控管源等)、靶材和多弧源尺寸(Ф60、Ф80直径靶材、气动、引弧等),数字智能真空计及其高质量的测量程序可用于真空测量,以及自动压力控制器等其他测量仪器。膜厚可通过平方电阻计、透射计等测量。
6.加注方式可以是质量流量计、转子流量计+针阀和相应的加注阀,可以选择多通道加注管路和相应的流量参数。
7.根据烘烤结构,提出烘烤温度、材料及相应设备。
8.根据设备特点,可选择手动、半自动、全自动或其组合控制方式。
9.真空镀膜机本体、扩散泵缺相、缺水、气压、电力负荷过电压、过电流等异常情况提供声光报警。
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