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PVD真空镀膜的工艺流程如下:
PVD前清洗:对待镀物进行表面清洁处理,确保表面光洁度和粗糙度符合要求。
进炉抽真空:将待镀物和镀层材料放置在真空室内,进行真空抽气,以将室内气体抽出,降低室内压力,创造真空环境。
洗靶及离子清洗:将所需的镀层材料制成靶材,进行烧结处理,以提高材料的密度和纯度,并保证靶材的稳定性和耐久性。
镀膜:将靶材放置在镀膜设备中,并通过电子束、离子束或热蒸发等方式,将靶材材料转化为气态,形成气体束,沉积在待镀物表面,形成镀层。
镀膜结束,冷却出炉:镀膜完成后,待镀物冷却后出炉。
后处理(抛光、AFP):根据需要,对镀层进行抛光、AFP等后处理工艺。
需要注意的是,具体的工艺流程可能会根据不同的镀膜材料和待镀物有所不同,因此在实际操作中需要根据具体情况进行调整。
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