真空镀膜设备主要包括真空主体和辅助抽气系统两大部分。

1. 真空主体：即真空腔，其大小根据加工产品的需求而有所不同，常见的直径有1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。这个腔体由不锈钢制成，要求不生锈、坚实。真空腔的各个部分都设有连接阀，用于连接各抽气泵浦。

2. 辅助抽气系统：这是镀膜机真空系统的重要组成部分，主要由机械泵、增压泵（如罗茨泵）和油扩散泵组成。这个排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”的组合。排气流程如下：首先，机械泵将真空腔抽至小于2.0*10-2PA的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提。然后，当扩散泵开始抽真空腔时，机械泵会配合油扩散泵组成串联，以这种方式完成抽气动作。

以上是真空镀膜设备的主要系统和部件的拆解。在实际操作过程中，建议参考设备的使用手册和制造商的说明，以确保安全和设备的正常运行。同时，对于任何涉及设备的拆解或维修工作，都应由专业人员进行。