真空镀膜设备在现代工业生产中扮演着至关重要的角色，因此，对其进行日常的维护与故障排除显得尤为重要。下面将详细介绍真空镀膜设备的日常维护与故障排除方法。

　　一、日常维护

　　1.清洁工作：定期清洁真空镀膜设备的内部和外部，包括真空室、加热系统、溅射系统等关键部件。使用专用的清洁剂和工具，确保设备表面无尘埃、油污等杂质。

　　2.检查真空系统：定期检查真空系统的密封性，确保无漏气现象。同时，检查真空泵的工作状态，如声音、温度等，如有异常应及时处理。

　　3.检查加热系统：加热系统是真空镀膜设备的重要组成部分，需要定期检查加热元件的工作状态，确保加热均匀、稳定。同时，注意检查温度控制系统的准确性。

　　4.更换耗材：根据设备使用情况，定期更换靶材、基片等耗材，确保镀膜质量。

　　1.真空度下降：如遇到真空度下降的情况，首先应检查真空系统是否有漏气现象，如密封件老化、破损等。其次，检查真空泵的工作状态，如泵油污染、泵内积灰等。

　　2.加热系统故障：如加热系统出现故障，如温度不稳定、加热不均匀等，应首先检查加热元件的工作状态，如是否老化、损坏等。其次，检查温度控制系统的设置和运行情况。

　　3.溅射系统异常：如溅射系统出现异常，如溅射不均匀、溅射功率不稳定等，应检查溅射电源、靶材等部件的工作状态。同时，注意检查设备内部是否有异物或杂质影响溅射效果。

　　在故障排除过程中，应遵循先易后难、先外后内的原则，逐步排查问题所在。同时，注意安全操作，避免对设备造成进一步损坏。如遇到难以解决的问题，应及时联系设备供应商或专业维修人员进行处理。